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12-03美国官方投资EUV初创企业xLight：1000W功率 4倍于ASML光刻机12月2日最新消息，EUV光刻技术已成为5纳米及更先进制程不可或缺的核心环节。目前全球范围内，仅有荷兰ASML公司具备量产EUV光刻机的能力。而美国正加速布局该...
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